型號:AMS以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液，可高精度控制回吸?？煞乐够瘜W(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象?？筛鶕?jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計。